AVI主动隔振平台


AVI主动隔振平台有助于最大限度地提高全世界数百台电子显微镜和其他高载荷精密研究仪器的空间分辨率。诸如卡尔蔡司显微镜公司，FEI公司，DCG系统等设备制造商选择AVI为其客户提供最佳解决方案，以在噪声最大的环境中实现最高数据质量。

AVI的模块化和易于安装的设计，可以在亚赫兹隔振性能方面为客户提供最大的可用性和成本效益。



AVI系列产品是一款模块化，薄型化的主动隔振平台，可在六个自由度范围内实现亚赫兹振动隔离。安装过程简便，可节省实验场所和安装成本。产品分三个型号：AVI-200、AVI-400和AVI-600：

AVI-200有三种标准尺寸可供选择：AVI-200S，AVI-200M和AVI-200XL；

AVI-400有三种标准尺寸可供选择：AVI-400S，AVI-400M和AVI-400XL；

AVI-600有三种标准尺寸可供选择：AVI-600S，AVI-600M和AVI-600XL。

 

技术参数

AVI系列主动减震产品：

（1）主动隔振范围：0.5 Hz-200 Hz；

（2）2.5 Hz时95%隔振；

（3）5 Hz时99%隔振；

（4）10 Hz时99.5%隔振；

（5）最大隔振效果在20 Hz时99.8%。

 

主要特点

（1）隔离所有振动：隔离所有六种旋转和平移振动模式下的振动；

（2）业界领先的低频隔离：主动隔离1至200Hz（LFS系统为0.5 - 200 Hz）；超过200 Hz的无源隔离；

（3）主动式>被动式：没有低频共振意味着0-5Hz之间的性能比无源系统好得多；

（4）最大刚度和稳定性：比被动系统硬500倍，可提供出色的方向和位置稳定性；

（5）可扩展至任何仪器尺寸：模块式样允许系统适应特定的尺寸和负载，使其成为各种应用的理想选择；

（6）无缝安装和使用：小巧的设计使得AVI系列无需升降设备即可安装。

 

应用领域

使用AVI-200平台的常见应用包括：

（1）原子力显微镜；

（2）干涉仪；

（3）轮廓仪；

（4）摩擦学；

（5）高精度计量领域。

 

使用AVI-400/600平台的常见应用包括：

（1）SEM和TEM；

（2）超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）；

（3）光刻工具；

（4）高精度测量工具；

（5）光谱仪器。

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