半导体电化学测试_半导体电化学测试_理化(香港)有限公司
半导体电化学测试
半导体电化学测试
化学机械抛光评价装置

系统集成了智能控制软件,适用于科研机构、高等院校及生产企业实验室开展化学机械抛光评价、工艺参数优化及质量控制等研究工作。

抛光电解液配方研发,对比不同电解液的抛光载荷稳定性

晶圆抛光工艺参数摸索

电解液批次稳定性检测

抛光电极适配性测试,统一实验标准


参数

规格

参数

规格

参数

规格

最大压力

120KPa

行程

20mm

加力量程

6Kg

压强精度

±0.1KPa

分辨率

0.05μm

精度

0.5g

台面尺寸

150×170mm

重复定位精度

2μm

转速输出信号

0~10V1mV/RPM